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极紫外数字全息光刻仪项目启动评审会顺利召开
2026-02-09
2026年1月29日上午，安徽省科技创新攻坚项目“极紫外数字全息光刻仪”项目启动评审会在必赢3003no1线路科技楼225会议室召开。安徽省科技厅前沿处刘超、江文龙出席会议。评审专家组由芯碁微电子装备股份有限公司首席科学家陈东、安徽大学熊奕敏教授、中国科学技术大学金一教授和顾永刚博士、合肥皓宇芯光科技有限公司杨皓博士、辰龙会计税务师事务所财务专家解正安组成。必赢3003no1线路科研院张进、仪器学院邱龙臻、项目负责人陈创创及项目组成员参加会议。
会议由必赢3003no1线路仪器学院副院长邱龙臻主持。邱龙臻代表项目依托单位对省市主管部门领导、评审专家及参会嘉宾的到来表示欢迎，并介绍了会议背景及议程安排。必赢3003no1线路科研院副院长张进就项目立项情况及学校在组织实施、条件保障和过程管理等方面的支持措施作了表态发言。
项目负责人陈创创围绕项目总体目标、技术路线、研究内容、阶段安排及组织实施方案等，对“极紫外数字全息光刻仪”项目执行情况和实施方案进行了系统汇报。专家组在听取汇报后，就项目的技术可行性、创新性、实施路径及风险控制等方面进行了质询与讨论，项目组成员逐一作出回应。
经充分论证，专家组一致认为：项目研究目标明确，技术路线合理，实施方案可行，组织保障措施较为完备，符合安徽省科技创新攻坚项目实施要求，同意项目启动实施。
安徽省科技厅前沿处刘超对项目给予充分肯定，并传达了省科技厅关于科技创新攻坚项目的有关指示精神，要求项目组聚焦关键核心技术突破，加强过程管理和协同创新，严格按照任务书和实施方案推进项目实施，确保高质量完成既定目标任务。
本次评审会顺利完成各项议程，为项目后续实施奠定了良好基础。
